傳動裝置的分量，通常情況下正比于齒輪的分量，而齒輪的分量與其資料和熱處理硬度有很大聯系。例如在一樣功率下，滲碳淬火齒輪的分量將是調質齒輪分量的1/3擺布。所以關于行星減速機的構造特色和齒輪的載荷性質，應當廣泛選用硬齒面齒輪。取得硬齒面齒輪的熱處理辦法許多，如外表淬火，全體淬火、滲碳淬火、滲氮等，應根據行星減速機的特色思考選定。
1、外表淬火：多見的外表淬火辦法有高頻淬火(對小尺度齒輪)和火焰淬火(對大尺度齒輪)兩種。外表淬火的淬硬層包含齒根底部時，其效果不錯。外表淬火常用資料為碳的質量分數約0.35%~0.5%的鋼材，齒面硬度可達45~55HRC。
2、滲碳淬火：滲碳淬火齒輪具有相對的承載才能，但有必要選用精加工工序(磨齒)來消除熱處理變形，以確保精度。
滲碳淬火齒輪常用滲碳前碳的質量分數為0.2%~0.3%的合金鋼，其齒面硬度常在58~62HRC的范圍內。若低于57HRC時，齒面強度明顯下降，高于62HRC時則脆性添加。輪齒心部硬度通常以310~330HBW為宜。滲碳淬火齒輪的硬度，從輪齒外表至深層應逐步下降，而有用滲碳深度規定為外表至深層應逐步下降，而有用滲碳深度規定為外表至硬度52.5HRC處的深度。
滲碳淬火在輪齒彎曲疲勞強度方面的效果除使心部硬度有所進步外，還在于有外表的殘余壓應力，它可使輪齒拉應力區的應力減小。因此磨齒時不能磨齒根部分，滾齒時要用留磨量滾刀。
3、滲氮：選用滲氮可確保輪齒在變形的條件下到達很高的齒面硬度和耐磨性，熱處理后可不再進行最終的精加工，進步了承載才能。這關于不易磨齒的內齒輪來說，具有特別含義。
4、想嚙合齒輪的硬度組合：當大、小齒輪均為軟齒面時，小齒輪的齒面硬度應高于大齒輪。而當兩輪均為硬齒面且硬度較高時，則取兩輪硬度一樣。
挑選好的行星減速機資料，有利于增加行星減速機的承載力及使用壽命。
